Oksijen uyumlu vakum yağları, oksijenle temas eden sistemlerde kullanılan özel bir tür yağdır.Yüksek oksijen yoğunluğu olan ortamlarda güvenli ve etkili bir şekilde çalışabilen özel formülasyonlara sahiptir.Oksijenle temasın yoğun olduğu uygulamalarda tercih edilir.