Yarı sentetik vakum yağları, endüstriyel vakum pompalarında kullanılan özel bir tür yağdır.Yarı sentetik vakum yağları, mineral bazlı yağlar ile sentetik yağların karışımından oluşur.Yarı sentetik vakum yağları, genellikle geniş sıcaklık aralıklarında çalışabilen ve yüksek performanslı uygulamalar için tercih edilir.